【摘 要】
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煤燃烧产生的SO_2是大气污染的重要来源。化学传感器法是监测SO_2的实用方法之一,开发研制实时、原位监测SO_2的化学传感器,对于控制酸沉降十分必要。梳状电极电容式(IDC)SO_
【机 构】
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北京工业大学环境与能源工程学院,北京工业大学环境与能源工程学院,北京工业大学环境与能源工程学院 北京100022,北京100022,北京100022
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煤燃烧产生的SO_2是大气污染的重要来源。化学传感器法是监测SO_2的实用方法之一,开发研制实时、原位监测SO_2的化学传感器,对于控制酸沉降十分必要。梳状电极电容式(IDC)SO_2传感器的原理是SO_2能够与有机物中的某些基团形成可逆的弱加合物,改变电介质的介电常数,使电容发生变化。可将对SO_2敏感的物质制成薄膜电容器,与一信号处理回路相连。当其暴露在一定浓度的SO_2气体中时,会导致IDC的电容发生变化。本文采用氧化硅片为基质制成IDC,用溶胶—凝胶技术将不同的有机敏感材料涂覆于其上,测定不同条件下的IDC的电容。得到此种电容的变化值与SO_2的浓度、敏感层的厚度的关系。
SO 2 produced by coal combustion is an important source of air pollution. The chemical sensor method is one of the practical methods to monitor SO_2. It is very necessary to develop a real-time, chemical sensor to monitor SO_2 in situ. The principle of the comb-shaped electrode capacitive (IDC) SO_2 sensor is that SO 2 can form reversible weak adduct with some groups in the organic substance to change the dielectric constant of the dielectric and make the capacitance change. Materials that are sensitive to SO 2 can be made into film capacitors connected to a signal processing circuit. When it is exposed to a certain concentration of SO 2 gas, it causes the capacitance of IDC to change. In this paper, IDC is made from a silicon oxide substrate, and different organic sensitive materials are coated on the sol-gel technology to determine the capacitance of the IDC under different conditions. The relationship between the change of the capacitance and the concentration of SO 2 and the thickness of the sensitive layer is obtained.
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