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本文利用深能级瞬态谱(DLTS)技术,对河南省部分厂家生产的若干半导体器件作了DLTS测量,测到了存在于Ge—APD中的两个深能级(E_c-0.26ev和E_c-0.35ev)。分析认为是Fe离子沾污所致,同时获得其俘获截面和浓度,其它器件(开关二级管除外)均未发现有深能级存在。
河南省若干半导体器件的DLTS研究
【摘 要】
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本文利用深能级瞬态谱(DLTS)技术,对河南省部分厂家生产的若干半导体器件作了DLTS测量,测到了存在于Ge—APD中的两个深能级(E_c-0.26ev和E_c-0.35ev)。分析认为是Fe离子沾污
【机 构】
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郑州大学物理系,郑州大学物理系
【出 处】
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郑州大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1989年1期
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