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本文研究了晶体 X射线摇摆曲线半峰宽同其晶格完整性之间的关系 ,外延层之间 X射线衍射的非相干叠加以及热应力引起的晶格应变和晶面弯曲对摇摆曲线半峰宽宽窄的影响
透射式GaAs光电阴极AlGaAs/GaAs外延层X射线衍射摇摆曲线半峰宽研究
【摘 要】
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本文研究了晶体 X射线摇摆曲线半峰宽同其晶格完整性之间的关系 ,外延层之间 X射线衍射的非相干叠加以及热应力引起的晶格应变和晶面弯曲对摇摆曲线半峰宽宽窄的影响
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学研究室,中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学研究室,中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学研究室,中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学研究室 西安71
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2002年01期
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