【摘 要】
：
一些DMOS产品的Vfsd上限要求做得很低,这样背金工艺的窗口就非常窄、经常发生Vfsd超上限的事件。如何拓宽背金工艺窗口、满足特殊DMOS产品对Vfsd的苛刻要求,在此研究了背面减
论文部分内容阅读
一些DMOS产品的Vfsd上限要求做得很低,这样背金工艺的窗口就非常窄、经常发生Vfsd超上限的事件。如何拓宽背金工艺窗口、满足特殊DMOS产品对Vfsd的苛刻要求,在此研究了背面减薄、背面硅腐蚀和背面注入的主要工艺关键参数对Vfsd的影响。比较减薄机研磨轮目数后发现,研磨轮目数决定背面粗糙度,进而影响背面SI与背面金属的接触电阻和Vfsd;比较硅腐蚀有、无活性剂后发现,加了活性剂的背面硅腐蚀速率温和、均匀性好,可减缓切入式减薄机的Vfsd扇形分布、Vfsd均匀性明显改善。背注能量拉偏后发现,降低背注能量可降低Vfsd的Mean值。综合以上机理分析和实验结果,找到了背面最佳工艺条件,大大拓宽了背金工艺窗口。在最佳背面工艺条件下,这些特殊的DMOS产品Vfsd超上限几率从1.5%下降到0.1%以下、良率平均上升4%,此背金最佳工艺可以成为DMOS生产的标准工艺。
其他文献
党的十八大明确提出，促进工业化、信息化、城镇化、农业现代化同步发展并强调要以创新驱动发展。工业化的强弱程度决定了社会经济发展的效率和模式。装备制造业作为“工业中的
行业组织是商品经济的产物，在西方经济发展中扮演着重要的角色。行业是组织是市场中介组织，是非营利性社团法人，不直接从事经济行为，具有民间性。行业组织的基本功能在于：为成员提
有鉴于20世纪中以来海外华文文学/文化的蓬勃发展,汉语或中文一词已经不能涵盖这一时期文学生产的驳杂现象。尤其在全球化和后殖民观念的激荡下,我们对国家/区域与文学间的对
互联网技术的兴起和发展,使著作权体系产生了扩张的趋势,加之技术性保护措施的合法化,合理使用原则面临边缘化的危机。对此,该文从网络所具有的“后现代特性”与合理使用原则
目的通过临床实习的学习，观察中西医结合治疗对胫骨平台骨折的影响，进行总结归纳。将切开复位内固定术应用于胫骨平台骨折的治疗，手术后加用中药口服及中药熏洗，观察中医药具有提
从人类学视角观照《舍身崖》故事，可以发现它积淀着较为深远的历史内涵，故事中的“孝子”们的献身冲动和自戕而亡的叙事模式与远古时代部落农业祭祀大地母神和谷物母神活动中的
设计了一种具有使用正确钥匙管理指纹和密码功能的电子机械锁。该锁分为两个部分,基于ATmega162的带有指纹识别模块的电子锁和基于PIC16F72的机械锁。电子锁和机械锁相对独立
文章讨论了中山大学中国社会经济史学科的奠基人梁方仲先生的学术思想和学术贡献。梁方仲先生以其扎实的文史修养和良好的社会科学造诣,从中国传统社会经济结构的大处着眼,从
对微冷保鲜、防腐剂保鲜、电离辐射保鲜、超高压保鲜和抗菌包装保鲜等非热力保鲜技术在肉及肉制品中的保鲜原理、优缺点和国内外应用情况进行了综述,以利于相关人员进行参考
液化天然气(LNG)是一种优质、高效和经济的清洁能源,开发LNG汽车成为人们普遍认可的有效的节能减排措施,同时推动了配套的LNG加气站的发展和推广应用。但是LNG加气站中不锈钢