功率半导体器件与功率集成技术的发展现状及展望

• 作 者: 孙伟锋 张波 肖胜安 苏巍 成建兵
• 机 构: 东南大学国家ASIC工程技术研究中心,电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,上海华虹NEC电子有限公司,无锡华润上华半导体有限公司,南京邮电大学电子科学与工程学院,
• 出 处: 中国科学:信息科学
• 发表日期: 2012年12期
• 关键词: 功率半导体器件 功率集成技术 技术路线图

功率半导体技术是半导体领域的重要研究内容之一,主要应用于现代电子系统的功率处理单元,是当今消费类电子、工业控制和国防装备等领域中的关键技术之一.本文概要介绍了功率半导体器件与集成技术的特点和应用范围,阐述了功率半导体器件与集成技术的发展现状和趋势,给出了未来技术发展路线图,最后梳理了未来技术发展的若干问题.