薄膜型辐射热电堆探测器

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本文所介绍的是用真空镀膜方法制作的热探测器-辐射热电堆器件的基本原理、性能指标、设计方法和制作工艺。 This article describes the basic principle, performance indicators, design methods and manufacturing process of the heat detector - radiant thermopile device made by vacuum coating method.
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