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来源 :电子显微学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
本文在第一聚光镜焦距为极大的优化条件下,给出了常用的SEM电子光学系统磁透镜最佳安排的计算公式。
【作 者】
:
沈一骑
【机 构】
:
江南电子光学仪器研究所南京210037
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1993年4期
【关键词】
:
电子学光系统
优化设计
磁透镜
SEM
电子显微镜
Scanning electron microscope
Electron optical system
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