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【摘 要】
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Several nc-TiN/a-TiB2 thin films comprised of nanocrystalline (nc-) TiN and amorphous (a-) TiB2phases were deposited on Si(100)at room temperature by reactive u
【机 构】
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DepartmentofPhysicsandMaterialsScience,DepartmentofManufacturingEngineering＆EngineeringManagement,De
【出 处】
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金属学报：英文版
【发表日期】
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2005年3期
【基金项目】
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the Research Grant Council of the Hong Kong Special Administrative Region, China，the City University of Hong Kong SRG project
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