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低失能近轴背散射电子的蒙特卡罗模拟计算
低失能近轴背散射电子的蒙特卡罗模拟计算
来源 :武汉大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:jhyyxz
【摘 要】
:
基于低失能近轴背散射电子的新型分析扫描电子显微镜的3个可调参数,入射能量、探测能量和探测角,本文用蒙特卡罗方法模拟入射电子在被分析样品中的运动轨迹,分析和讨论了上述3个参
【作 者】
:
蒋昌忠
【机 构】
:
武汉大学物理学系
【出 处】
:
武汉大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
扫描电子显微镜
背散射电子
蒙特卡罗模拟
scanning electron microscope (SEM) backscattered electron (
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基于低失能近轴背散射电子的新型分析扫描电子显微镜的3个可调参数,入射能量、探测能量和探测角,本文用蒙特卡罗方法模拟入射电子在被分析样品中的运动轨迹,分析和讨论了上述3个参量对背散射率,原子序列度,形貌衬度,信噪比和分辨率等的影响,结果表明蒙特卡罗模拟计算对实验调试具有指导作用。
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