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基于低失能近轴背散射电子的新型分析扫描电子显微镜的３个可调参数，入射能量、探测能量和探测角，本文用蒙特卡罗方法模拟入射电子在被分析样品中的运动轨迹，分析和讨论了上述３个参量对背散射率，原子序列度，形貌衬度，信噪比和分辨率等的影响，结果表明蒙特卡罗模拟计算对实验调试具有指导作用。
低失能近轴背散射电子的蒙特卡罗模拟计算
【摘 要】
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基于低失能近轴背散射电子的新型分析扫描电子显微镜的３个可调参数，入射能量、探测能量和探测角，本文用蒙特卡罗方法模拟入射电子在被分析样品中的运动轨迹，分析和讨论了上述３个参
【机 构】
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武汉大学物理学系
【出 处】
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武汉大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2000年3期
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