水溶液显影环氧乙烷光刻胶的显影条件及机理探索

• 作 者: 李岚慧 窦盈莹 水玲玲 李发宏 Robert A.HAYES
• 机 构: 华南师范大学华南先进光电子研究院,深圳市国华光电科技有限公司,深圳市国华光电研究院
• 出 处: 华南师范大学学报：自然科学版
• 发表日期: 2017年1期
• 关键词: 电润湿 光刻胶 水性显影液 electro-wetting photoresist aqueous developer
• 基金项目: 科技部国家重点研发计划项目（2016YFB0401502）,国家自然科学基金项目（U1601651）,教育部“长江学者和创新团队发展计划”项目（IRT13064）,广东省引进创新科研团队计划项目（2011D039）,广东省重大基础培育项目（2014A030308013）,广东省重大科技专项项目（20148090914004,20168090906004）,华南师范大学研究生科研创新基金资助项目（2

电润湿器件的传统工艺中利用SU-8光刻胶材料制备像素墙,从而得到最小的显示单元——像素.文中通过实验发现另一种环氧树脂光刻胶（KMPR胶）可以代替传统的SU-8光刻胶用来制备电润湿器件的像素墙.KMPR胶既可以采用有机溶剂进行显影,也可以采用碱性显影液,更利于环保.通过对比有机溶剂（PGMEA）和碱性显影液（KOH溶液、四甲基氢氧化铵TMAH溶液）对KMPR光刻胶的显影效果,得到最佳水溶液显影液——氢氧化钾（KOH）显影液及其显影的较佳浓度范围,研究了温度对KMPR光刻胶显影的影响,进而对显影机理进行了探