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本文对光学薄片用作检测微小深度敏感元件的机理进行了研究，得到了敏感元件输出与输入间的关系式，对微精加工中离子束刻蚀深度的传感技术具有现实意义 。
光学薄片用作检测微小深度敏感元件的研究
【摘 要】
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本文对光学薄片用作检测微小深度敏感元件的机理进行了研究，得到了敏感元件输出与输入间的关系式，对微精加工中离子束刻蚀深度的传感技术具有现实意义 。
【机 构】
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华东冶金学院自动化系
【出 处】
：
仪表技术与传感器
【发表日期】
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1998年3期
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