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【摘 要】
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采用等离子辅助电子束蒸发，在Si（100）衬底上沉积La2O3薄膜。随后对非晶的沉积态薄膜在750℃和900℃分别退火1h。实验结果表明，采用等离子辅助电子束蒸发，可以获得非晶态的La2O3薄
【机 构】
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西北工业大学凝固技术国家重点实验室
【出 处】
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稀有金属材料与工程
【发表日期】
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2007年A01期
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