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介绍了Lasertec超高温共聚焦显微镜的结构及工作原理，并对常见典型故障进行了分析，同时对设备维护提出了具体建议。
Lasertec超高温共聚焦显微镜典型故障分析
【摘 要】
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介绍了Lasertec超高温共聚焦显微镜的结构及工作原理，并对常见典型故障进行了分析，同时对设备维护提出了具体建议。
【机 构】
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首钢技术研究院
【出 处】
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首钢科技
【发表日期】
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2017年3期
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