【摘 要】
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简要介绍了我国七十年代中期以来从国外引进的多种大型表面分析仪器电子能谱仪的重要配套设备多功能样品预处理装置及国内同类产品的情况.对各种装置的结构、功能及特点作了
【机 构】
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中国科学院沈阳科学仪器厂 沈阳,110003
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简要介绍了我国七十年代中期以来从国外引进的多种大型表面分析仪器电子能谱仪的重要配套设备多功能样品预处理装置及国内同类产品的情况.对各种装置的结构、功能及特点作了简要叙述和比较,并预测了今后的发展趋势.
This paper briefly introduces the multi-functional sample pretreatment equipment and similar domestic products of important supporting equipment for large-scale surface analysis instruments imported from abroad since the mid-1970s in China.On the basis of the structure, function and features of various devices Made a brief narration and comparison, and predicted the future trend of development.
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