【摘 要】
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在不同束流和能量下对离子光柱体进行了优化设计。给出了用阻尼最小二乘法设计的单个透镜和透镜系统，并研究了像平面处的离子束性能。采用先分解再组合的方法确定单个透镜参数
【机 构】
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北京航天航空大学,中国科学院电工研究所
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在不同束流和能量下对离子光柱体进行了优化设计。给出了用阻尼最小二乘法设计的单个透镜和透镜系统，并研究了像平面处的离子束性能。采用先分解再组合的方法确定单个透镜参数，并以大束流、无限大放大倍数下像差系数与焦距的比为优化目标。选取工作模式时综合考虑了系统的光学性能和可实现性，大束流下采用平行模式，小束流下采用交叉模式，设计的透镜系统在大、小束流下分别选轴上像差和放大倍数为优化目标。计算表明，2nA束流下像差为16．33nm，放大倍数为-0．5390955，束斑直径为3l.52nm；2．5pA束流下像差为2．1
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