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浅析磁控溅射镀膜玻璃膜层的形成
浅析磁控溅射镀膜玻璃膜层的形成
来源 :建筑玻璃与工业玻璃 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qq540531049
【摘 要】
:
通过试验数据和理论分析,详细论述了平面靶是如何将靶材粒子沉积到玻璃表面,形成均匀的膜层及其价值。
【作 者】
:
郭明
王秀丽
【机 构】
:
洛玻集团洛阳晶润镀膜玻璃有限公司
【出 处】
:
建筑玻璃与工业玻璃
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
离线镀膜
低辐射镀膜玻璃
辐射率银膜厚度
氧化钛膜层
银氧化
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通过试验数据和理论分析,详细论述了平面靶是如何将靶材粒子沉积到玻璃表面,形成均匀的膜层及其价值。
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