退火对CNx薄膜光学性质的影响

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报道了退火对电子回旋共振(ECR)辅助脉冲激光溅射方法制备的CNx薄膜样品光学性质的影响.X射线衍射(XRD)结果显示CNx薄膜基本为无定形结构,但存在微量的多晶结构.拉曼散射谱显示所制备的CNx薄膜样品主要由CN、少量的C-C和微量的CN组成.随着退火温度的升高,拉曼散射谱不但在1357cm-1附近出现了一个新峰(新峰对应无序的CN键),而且CN和CN的相对含量比随着退火温度的提高大致呈先减小后增大再减小的趋势,从而证实在退火过程中部分N原子发生了迁移.椭偏仪所测量的CNx薄膜的光学常数表明退火温度对ε
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