【摘 要】
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14C真空技术及设备微波放电及合成氨的研究……………………………………………………………邱瑞钦等 1(1)RIBE-5型反应离子束刻蚀机…………………………………………………
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14C真空技术及设备微波放电及合成氨的研究……………………………………………………………邱瑞钦等 1(1)RIBE-5型反应离子束刻蚀机…………………………………………………成淑英等1(11)CCD技术用于诊断真空电弧等离子体电子温度…………………………………徐新乐等 1(27)大?
14C Vacuum Technology and Equipment Microwave Discharge and Ammonia Research ....................................................................... Qiu Ruiqin Etc. 1 (1) RIBE-5 Reactive Ion Beam Etching Machine ......................................................... Cheng Shuying, etc. 1 (11) CCD technology for diagnosis of vacuum arc plasma electron temperature .................................... ... Xu Xinle other 1 (27) big?
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