【摘 要】
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按照生物样品各分辨单元具有多种透过率的特点，设计了一个多衬度的台阶状蛋白质模型，根据曝光量与衬度，信噪比，抗蚀膜性能的关系，确定了曝光量。同时模拟样品模型各台阶的真实成像
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,福建省劳动保护研究所
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按照生物样品各分辨单元具有多种透过率的特点，设计了一个多衬度的台阶状蛋白质模型，根据曝光量与衬度，信噪比，抗蚀膜性能的关系，确定了曝光量。同时模拟样品模型各台阶的真实成像条件，测量了各台阶所对应的抗蚀膜显影速率曲线，对显影条件作了定量分析。将曝光量，显影条件，与分辨率紧密结合起来，找到了一种较好的实验方法。
According to the characteristics of multi-permeability of each resolution unit of biological sample, a multi-contrast step-shaped protein model was designed. According to the relationship between exposure intensity and contrast, signal-to-noise ratio, resist film performance, the exposure was determined. At the same time, the real imaging conditions of each step of the sample model were simulated, the development curve of the resist film corresponding to each step was measured, and the developing conditions were quantitatively analyzed. The amount of exposure, development conditions, and resolution are closely combined to find a better experimental method.
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