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MEMS广泛应用于智能手机、3D打印等领域,MEMS动态性能测试对故障定位,优化MEMS设计、加工工艺,降低封装成本具有重要意义。分析了MEMS微运动测试系统方案和原理,以图像处理为核心,通过计算机显微系统,引入频闪同步控制技术,构建了一套频闪微视觉MEMS动态测试系统,并以MEMS谐振器为例,激励正弦振动信号,驱动谐振器作正弦振动,对频闪微系统采集的图像序列进行观察和分析。Matlab计算仿真结果表明:该方法有效估计了谐振器的运动特性,具有较高的应用价值。