微扰和标定技术测量薄膜微波介电常数

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：av437556057

【摘要】

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提出了一种测量介质薄膜微波段介电常数的方法.该方法基于金属空腔谐振器微扰理论,用已知介电常数的基片作为标样,标定测量系统的有关参数,然后分别测量空腔、基片插入空腔、

【作者】

：

董树荣王德苗金浩

【机构】

：

浙江大学信息学院信电系

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2006年z1期

【关键词】

：

介质薄膜介电常数测量谐振腔微扰

【基金项目】

：

国家自然科学基金项目(No.50172042)

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提出了一种测量介质薄膜微波段介电常数的方法.该方法基于金属空腔谐振器微扰理论,用已知介电常数的基片作为标样,标定测量系统的有关参数,然后分别测量空腔、基片插入空腔、镀有介质薄膜的基片插入空腔三种情况下的谐振腔谐振频率,计算出镀覆于基片上介质薄膜的微波复介电常数.本文SiO2和MgTiO3-CaTiO3(MCT)介质陶瓷薄膜作了实验测量验证,结果表明该方法具有良好的测量精度(小于6%).

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