【摘 要】
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本产品为高密度布线图形所研制的固体抗蚀剂自动曝光装置。其特点: 1.将引起发热的灯室和曝光室分开,将曝光时产生的热量上升控制在+2.5℃,将布线图胶片的尺寸测量精度的偏
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本产品为高密度布线图形所研制的固体抗蚀剂自动曝光装置。其特点: 1.将引起发热的灯室和曝光室分开,将曝光时产生的热量上升控制在+2.5℃,将布线图胶片的尺寸测量精度的偏差控制到最
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