【摘 要】
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ＨＰ公司推出的新产品５５２７Ａ型双频激光干涉仪精密测量系统，采用数字控制ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路，取得了亚微米级的定位精度和重复精度。重点介绍ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板的功能，推导出具有
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ＨＰ公司推出的新产品５５２７Ａ型双频激光干涉仪精密测量系统，采用数字控制ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路，取得了亚微米级的定位精度和重复精度。重点介绍ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板的功能，推导出具有前馈补偿ＰＩＤ控制器的传递函数表达式，分析ＰＩＤ根轨迹图上零点的位置对伺服系统稳定性的影响，介绍控制器的调试方法，以及采用ＨＰ－３５６２Ａ动态信号分析仪，可实现伺服轴板的快速调试，给出闭环位置控制系统的控制程序。
The 5527A Dual-Frequency Laser Interferometer Precision Measurement System, a new product introduced by HP, adopts the closed-loop position control circuit with digitally controlled HP-10936A servo axis plate as its core, achieving submicron positioning accuracy and repeatability. The function of HP-10936A servo axis plate is introduced emphatically. The expression of transfer function with feed-forward compensation PID controller is deduced. The influence of the position of zero point on the stability of servo system is analyzed. The debugging method of controller is introduced. And the use of HP-3562A dynamic signal analyzer, servo axis board can be quickly debugged, given closed-loop position control system control program.
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