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【摘 要】
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一、引言在微细加工艺中,离子束刻蚀具有独特的优点。无沾污,无钻蚀,具有极高的刻蚀分辨率,刻蚀0.2微米的线条已付诸生产应用。最突出的优点乃是其刻蚀图形的台阶倾角可以控
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1980年04期
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