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本文根据专用集成电路制造工艺的特点，主要介绍了电子束和激光束片子直写系统的应用及适用于ＡＳＩＣ标准加工线的计算机工艺集成、模块组合加工系统的发展趋势。
国外ASIC工艺设备现状及趋势
【摘 要】
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本文根据专用集成电路制造工艺的特点，主要介绍了电子束和激光束片子直写系统的应用及适用于ＡＳＩＣ标准加工线的计算机工艺集成、模块组合加工系统的发展趋势。
【机 构】
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电子工业部第４５研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1995年4期
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