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对即将动工的上海第三代同步辐射装置及其主要参数作了介绍，叙述了目前同步辐射ｘ射一光刻和ＬＩＧＡ的一些技术进步情况，并对未来ＳＳＲＦ光刻实验珠应用前景作了简要分析。
上海第三代同步辐射装置及其在光刻和LIGA中的应用
【摘 要】
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对即将动工的上海第三代同步辐射装置及其主要参数作了介绍，叙述了目前同步辐射ｘ射一光刻和ＬＩＧＡ的一些技术进步情况，并对未来ＳＳＲＦ光刻实验珠应用前景作了简要分析。
【机 构】
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中国科学院微电子中心三室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2000年1期
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