超精密加工机床的驱动系统

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超精加工的工艺特点、应用对象、主轴系统以及导轨结构等已在文献~([1][2])中作了叙述,这里就超精加工机床的驱动电机和系统作一介绍。 一、主轴驱动电机 文献[1]已提及一般超精加工生产中,为排除主轴驱动源引起的外来振动实现高的回转精度的方法。下面以美国的一个专利为例,介 The characteristics of superfinishing machining, the application object, the spindle system and the structure of the guide rail have been described in the literature [1] [2]). Here we introduce the drive motor and system of the superfinishing machine tool. First, the spindle drive motor [1] has referred to the general super-precision machining, in order to exclude the external vibration caused by the spindle drive source to achieve high precision rotary method. Take the example of a U.S. patent as an example
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