【摘 要】
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日本Fuji光电公司的A.Uejina等人发明的面发射激光器的发光量监视系统由面发射激光器阵列、分束器、光电探测器组成。探测器探测各个发光点发的激光束通过狭缝的所有光束。
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日本Fuji光电公司的A.Uejina等人发明的面发射激光器的发光量监视系统由面发射激光器阵列、分束器、光电探测器组成。探测器探测各个发光点发的激光束通过狭缝的所有光束。为了控制激光阵列,使各发光点顺次发射的大量光束按次序被探测器
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