【摘 要】
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哈尔滨工业大学研制成功一种非接触式表面形貌检测装置，并通过广国家级技术鉴定，专家们认为它已达到国际先进水平，实用性很强。它是我国首台亚微米测量设备，可用来测量超精加工零
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哈尔滨工业大学研制成功一种非接触式表面形貌检测装置，并通过广国家级技术鉴定，专家们认为它已达到国际先进水平，实用性很强。它是我国首台亚微米测量设备，可用来测量超精加工零件装置。它采用双频激光共振干涉技术，测量零部件微观形貌、粗精度、直线度和平面度，其分辨
Harbin Institute of Technology successfully developed a non-contact surface morphology testing device, and through a wide range of national-level technical appraisal, experts believe that it has reached the international advanced level, practicality. It is the first sub-micron measuring device in China that can be used to measure superfinishing parts. It uses dual-frequency laser resonance interferometry to measure the microstructure, precision, straightness and flatness of components,
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