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北京埃德万斯离子束技术研究所是国内离子束刻蚀系统、离子束溅射沉积薄膜系统、微米及纳米器件微结构研究和薄膜材料研究的创新者，是先进商用技术产品的专业制造者。
北京埃德万斯离子束技术研究所
【摘 要】
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北京埃德万斯离子束技术研究所是国内离子束刻蚀系统、离子束溅射沉积薄膜系统、微米及纳米器件微结构研究和薄膜材料研究的创新者，是先进商用技术产品的专业制造者。
【出 处】
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中国材料科技与设备
【发表日期】
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2012年5期
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