【摘 要】
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采用直流溅射并结合热处理工艺制备氧化镍薄膜,利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDX）考察退火温度对薄膜结构、形貌和组成的影响,并通过恒流充放电技术初步考察薄膜的
【机 构】
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河南科技大学信息管理研究所,河南科技大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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河南科技大学人才科研基金项目（04015）,河南科技大学青年科研基金项目（2004QN010）
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采用直流溅射并结合热处理工艺制备氧化镍薄膜,利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDX）考察退火温度对薄膜结构、形貌和组成的影响,并通过恒流充放电技术初步考察薄膜的电化学性能。结果表明,在400～500℃退火温度下制备了表面光滑、结构致密的NiO薄膜;随着退火温度的升高,薄膜的晶粒尺寸逐渐增大,晶形趋于完整;其中,500℃下退火2h获得的NiO薄膜具有良好的电化学循环稳定性,有望成为高性能的全固态薄膜锂电池阳极材料。
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