聚酰亚胺微悬臂梁理论及实验

• 作 者: 钟砚超 梁静秋 李小奇 李伟 王淑荣 梁中翥 孙德贵
• 机 构: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院
• 出 处: 纳米技术与精密工程
• 发表日期: 2007年4期
• 关键词: 聚酰亚胺(PI) 悬臂梁 有限元分析 光刻 polyimide （PI） cantilever finite element analysis lithogra

设计制作了一种电磁驱动式悬臂梁．为降低驱动电流，选择柔韧性较好的聚酰亚胺（PI）作为梁结构材料，其优良的绝缘性和耐热性保证了驱动线圈的功能实现．通过理论计算及有限元模拟仿真对悬臂梁动力响应及结构模态做了系统分析；根据分析结果，优化得到悬臂梁的结构参数．介绍了悬臂梁的制作工艺及流程，通过PI刻蚀、A7A903光刻胶光刻、电铸等工艺过程，制作出PI悬臂梁及其末端驱动线圈．