【摘 要】
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闪光退火是工艺工程师工具箱中的最新工具。尖峰快速热退火(RTA)方法已经付诸实用,但RTA在限制掺杂物扩散的同时对掺杂物进行活化,闪光退火可以弥补这一缺陷。闪光退火更为精
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闪光退火是工艺工程师工具箱中的最新工具。尖峰快速热退火(RTA)方法已经付诸实用,但RTA在限制掺杂物扩散的同时对掺杂物进行活化,闪光退火可以弥补这一缺陷。闪光退火更为精确,在几毫秒时间内可以将温度升高到约900℃到1300℃,并快速返回到室温,
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