金刚石薄膜的合成及其存在的问题

来源 :磨料磨具与磨削 | 被引量 : 0次 | 上传用户:menghuilong
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文中详述了在低压区域于1100℃以下合成金刚石的动向及其存在的问题,分析了与金刚石同时析出的类金刚石碳、i-C的成因及抑制手段。 In this paper, the trends of diamond synthesis at 1100 ℃ and its existence in the low pressure region are discussed in detail. The formation and inhibition of diamond-like carbon and i-C precipitated simultaneously with diamond are analyzed.
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