分子束外延生长Sb薄膜及其量子尺寸效应

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在GaAs(001)衬底上,用分子束外延生长Sb(111)薄膜,用反射式高能电子衍射仪原位监控生长过程,用透射电子显微镜观察薄膜结构,并用vanderPauw方法测量了电阻率随生长温度的变化,观察到Sb薄膜半金属/半导体转变及其量子尺寸效应. Growth of Sb (111) thin film was observed on a GaAs (001) substrate by molecular beam epitaxy. The growth of the Sb (111) thin film was observed by a high energy electron diffractometer. The structure of the thin film was observed by transmission electron microscopy and measured by the van der Pauw method. Temperature changes, the semi-metal / semiconductor transition of Sb film and its quantum size effect were observed.
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