测量表面粗度用的光学仪器

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为了研究ΓОСТ2789-73规定的不平度高度在0.03~320微米范围内的表面粗度,采用接触式及非接触式的测量仪器。非接触式光学仪器、(光切法及阴影法的显微镜、干涉显微镜和不久前研制的光栅显微镜)在测量过程中不会引起试件表面的变 In order to study ΓОСТ2789-73 provisions of the roughness surface roughness in the range of 0.03 to 320 microns, the use of contact and non-contact measuring instruments. Non-contact optical instruments, (light-cutting and shadowing microscopes, interference microscopes, and raster microscopes not long ago) do not cause surface strain on the specimen during the measurement
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