【摘 要】
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光催化剂TiO2薄膜是用两个平行Ti靶的空心阴极气流溅射方法沉积而成,氩气和氧气流量分别是3000 sccm和0~50 sccm,在沉积过程中总气压维持在45 Pa。在氧气流量为30 sccm时,TiO
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光催化剂TiO2薄膜是用两个平行Ti靶的空心阴极气流溅射方法沉积而成,氩气和氧气流量分别是3000 sccm和0~50 sccm,在沉积过程中总气压维持在45 Pa。在氧气流量为30 sccm时,TiO2膜最大沉积率为162 nm/min,之后在空气中300℃,1 h进行退火工艺,用来作光催化分解乙醛(CH3CHO),和一般反应溅射相比,后退火膜显示出非常高的光催化作用。
The photocatalyst TiO2 thin film was deposited by hollow cathode sputtering with two parallel Ti targets. The flow rates of argon and oxygen were 3000 sccm and 0 ~ 50 sccm, respectively. The total pressure was maintained at 45 Pa during the deposition. When the oxygen flow rate is 30 sccm, the maximum deposition rate of TiO2 film is 162 nm / min, and then annealed in air at 300 ℃ for 1 h for photocatalytic decomposition of acetaldehyde (CH3CHO), and the general reactive sputtering phase The retrograde films show a very high photocatalytic activity compared to the latter.
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