【摘 要】
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通过提高微型线圈匝数不仅可以提高微型电磁能量采集器的俘能效率,还能够提高传感器的电学性能.本文基于微机电系统(MEMS)工艺,对电镀工艺中电镀液、电流密度、电流强度、温
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51675493,51675493)。
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通过提高微型线圈匝数不仅可以提高微型电磁能量采集器的俘能效率,还能够提高传感器的电学性能.本文基于微机电系统(MEMS)工艺,对电镀工艺中电镀液、电流密度、电流强度、温度等参数进行探索优化,在刚性基底上制备出高质量高密度的双层互连MEMS微型线圈.研究结果表明:该工艺大幅度提升了线圈匝数(最大匝数可达到800),且有效解决了狭小空间下MEMS电磁能量采集器的输出电压低、俘能效率低等问题.同时,该工艺在晶圆级硅基底上实现了微线圈的制备,展现出可控批量化加工优势.
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