【摘 要】
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在以金属油扩散泵为主泵的抽气系统中,附加一冷冻钛升华阱,消除了一般扩散泵抽气系统中普遍存在的压强脉动现象,获得了1× 10-11乇的极限真空。这是目前用来获得同等真空水平
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在以金属油扩散泵为主泵的抽气系统中,附加一冷冻钛升华阱,消除了一般扩散泵抽气系统中普遍存在的压强脉动现象,获得了1× 10-11乇的极限真空。这是目前用来获得同等真空水平的简单、经济、适用的好方法。而且实质上是一台用有油的手段达到“无油”目的相当清洁的系统。 一、引
In the exhaust system with the metal oil diffusion pump as the main pump, a frozen titanium sublimation trap was added to eliminate the pressure pulsation phenomenon prevailing in the general diffusion pump exhaust system and obtain the ultimate vacuum of 1 × 10-11 Torr. This is a simple, economical, and good way to get the same level of vacuum now. And it’s essentially a fairly clean system with oil-free means to achieve “oil-free” purposes. First, cited
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