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512×512元高帧速可见光CCD
512×512元高帧速可见光CCD
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zous111
【摘 要】
:
CCD具有低响应非线性、宽光谱响应、低噪声、高动态范围和测光精度,已被广泛应用于许多成像领域。本文介绍了利用三层多晶硅、埋沟、双层金属工艺研制的16抽头512×512元
【作 者】
:
刘昌林
李仁豪
唐绍凡
周旭东
龙飞
【机 构】
:
CCD图像传感器国家级重点实验室,中国航天科技集团公司508所
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2005年B03期
【关键词】
:
高帧速
高速成像
多抽头
可见光CCD
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CCD具有低响应非线性、宽光谱响应、低噪声、高动态范围和测光精度,已被广泛应用于许多成像领域。本文介绍了利用三层多晶硅、埋沟、双层金属工艺研制的16抽头512×512元高帧速可见光CCD。测试结果表明,该器件具有高的光响应均匀性、高动态范围和低噪声,并已成功应用于高分辨率高速成像。
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