【摘 要】
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一、前言在无产阶级文化大革命的推动下,电真空事业蓬勃发展,无油真空系统在电子器件上的应用日益广泛,不少单位有了实例。我们在一九七四年进行了试验。首先是用8升/秒的钛
【机 构】
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一、前言在无产阶级文化大革命的推动下,电真空事业蓬勃发展,无油真空系统在电子器件上的应用日益广泛,不少单位有了实例。我们在一九七四年进行了试验。首先是用8升/秒的钛离子泵系统对FU-101大功率发射管进行排气试验。封离真空度在10~(-8)托,比现有的1000升/秒的油泵系统要高。随后又制作了30升/秒的钛离子泵和200升/秒的钛升华泵。并首先在
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