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在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演了多年极重要的角色。但是近年来随着自动化运动系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。
Renishaw XL-80全新轻弄激光干涉仪测量系统
【摘 要】
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在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演了多年极重要的角色。但是近年来随着自动化运动系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满
【出 处】
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数控机床市场
【发表日期】
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2007年6期
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