【摘 要】
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<正>Primo SSC AD-RIETM将在客户最先进的试生产线上投入运行上海和旧金山2015年7月9日电/--中微半导体设备有限公司(简称"中微")宣布Primo SSC AD-RIE?(中微单反应台等离子
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<正>Primo SSC AD-RIETM将在客户最先进的试生产线上投入运行上海和旧金山2015年7月9日电/--中微半导体设备有限公司(简称"中微")宣布Primo SSC AD-RIE?(中微单反应台等离子体刻蚀设备)已交付韩国领先的存储器制造商。Primo SSC ADRIE?是中微公司目前最先进的介质刻蚀设备,可用于1X纳米关键刻蚀工艺芯片加工。在此之前,中微的Primo SSC AD-RIE?已在南韩的16纳米最关键的刻蚀步骤上实现大批量生产。这台交付的设备将在客户最先进工艺的3D VNAND试生产线上投入运行。移动电子产品的飞速发展、以及大
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