【摘 要】
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由ALIS公司推出的氦离子显微镜(HIM)有望弥补传统扫描电子显微镜(SEM)的部分缺点。在普通的SEM中,探针尺寸主要受到两个条件的限制。其一是衍射,因为电子具有波动性,其德布罗
【机 构】
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由ALIS公司推出的氦离子显微镜(HIM)有望弥补传统扫描电子显微镜(SEM)的部分缺点。在普通的SEM中,探针尺寸主要受到两个条件的限制。其一是衍射,因为电子具有波动性,其德布罗意波长不为零。当电子流经一个狭缝时会发散开,从
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