电磁聚焦成象系统中曲轴宽电子束聚焦的象差理论

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在宽电子束聚焦理论基础上,利用非正交旋转曲轴坐标系,研究了电磁聚焦成象系统的曲轴象差理论.采用象差积分函数形式,导出了二级几何象差、主轨迹色球差和曲近轴色球差的象差系数,使结果适宜计算机处理.本文结果已用于实际电磁聚焦成象系统的设计计算. Based on the theory of wide electron beam focusing, the crankshaft aberration theory of electromagnetic focusing imaging system is studied by using non-orthogonal rotating crankshaft coordinate system. The aberration integral function is used to derive the second-order geometric aberration, the aberration of the main track chromosphere and the curvature of the spherical paraxial axis. The result is suitable for computer processing. The results of this paper have been used in the design of the actual electromagnetic focusing imaging system.
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