【摘 要】
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一、引 言 扫描电镜(SEM)有广泛的应用.在半导体研究中用得较多的是二次电子发射(SE)、阴极射线发光(CL)和电子束感生电流三种方式.所谓EBIC,是指当能量适当的电子束入射到半
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一、引 言 扫描电镜(SEM)有广泛的应用.在半导体研究中用得较多的是二次电子发射(SE)、阴极射线发光(CL)和电子束感生电流三种方式.所谓EBIC,是指当能量适当的电子束入射到半导体,在半导体内的一定范围内产生电子-空穴对,没有被复合的电子-空穴对通常可用一个平行于人射表面的?
I. INTRODUCTION Scanning electron microscopy (SEM) has a wide range of applications in the semiconductor research is more used in the secondary electron emission (SE), cathode ray emission (CL) and electron beam induced current three ways the so-called EBIC, Refers to when the energy of the appropriate electron beam incident on the semiconductor in a semiconductor within a certain range of electron-hole pairs, not complex electron-hole pairs can usually be used with a parallel to the human surface?
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