【摘 要】
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研制成能在室温下工作的集成型热电红外传感器。红外敏感元件是在硅片上射频溅射钛酸铅薄膜构成。论证和讨论了线性阵列传感器的灵敏度,交扰和调制转移函数与频率关系的一系
【机 构】
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日·大阪大学基础工程系,日·大阪大学基础工程系
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研制成能在室温下工作的集成型热电红外传感器。红外敏感元件是在硅片上射频溅射钛酸铅薄膜构成。论证和讨论了线性阵列传感器的灵敏度,交扰和调制转移函数与频率关系的一系列技术数据。采用线性阵列进行了红外成像的试验。
Developed to work at room temperature integrated thermoelectric infrared sensor. Infrared sensor is on the silicon RF sputter lead titanate film composition. A series of technical data about the sensitivity, crosstalk and modulation transfer functions of linear array sensors and their frequencies are demonstrated and discussed. Infrared imaging experiments were performed using a linear array.
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