【摘 要】
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本文对TiO_2和Ta_2O_5混合膜进行了单源共蒸发实验研究。在实验结果的基础上,提出了一个拟合TiO_2、Ta_2O_5混合膜系孔洞率的经验公式,并对混合膜的折射率的计算过程进行了改
【机 构】
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国防科技大学应用物理系,国防科技大学应用物理系,国防科技大学应用物理系,国防科技大学应用物理系
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本文对TiO_2和Ta_2O_5混合膜进行了单源共蒸发实验研究。在实验结果的基础上,提出了一个拟合TiO_2、Ta_2O_5混合膜系孔洞率的经验公式,并对混合膜的折射率的计算过程进行了改进。结果表明:理论计算与实验数据符合较好;混合物薄膜可能形成孔洞率较小的膜层,从而导致混合物薄膜折射率随混合百分比的变化曲线出现峰值。
In this paper, a single-source co-evaporation experimental study of TiO_2 and Ta_2O_5 mixed films. Based on the experimental results, an empirical formula fitting the hole ratio of TiO_2 and Ta_2O_5 hybrid films was proposed, and the calculation of the refractive index of the mixed films was improved. The results show that the theoretical calculation is in good agreement with the experimental data. The mixture film may form a film with a small hole ratio, resulting in the peak value of the refractive index of the mixture film as a function of the mixing percentage.
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