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对光照射下硅桥谐振子的谐振频率变化进行了理论分析，并建立了相应的理论模型，该理论模型建立在对硅桥进行热传导分析、热应力变分析和机械振动分析的基础上，理论推导过程严密，且理论模型的模拟结果与实验测试数据吻合得很好，从而说明了理论模型的可靠性。
硅桥谐振子的谐振频率受照射光功率影响的理论模型
【摘 要】
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对光照射下硅桥谐振子的谐振频率变化进行了理论分析，并建立了相应的理论模型，该理论模型建立在对硅桥进行热传导分析、热应力变分析和机械振动分析的基础上，理论推导过程严密，且
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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西安交通大学学报
【发表日期】
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2000年10期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目!(69776037),国家教育部博士学科点专项科研基金资助项目!(98069828)
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