【摘 要】
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文章定性和定量地分析了ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ超晶格ＰＩＮ波导探测器的电输运过程，具体说明了量子效率、光电流、频率响应带宽等重要参数的物理意义．并将理论分析与实验结果进行比较，结果表明，两者符合得较
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文章定性和定量地分析了ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ超晶格ＰＩＮ波导探测器的电输运过程，具体说明了量子效率、光电流、频率响应带宽等重要参数的物理意义．并将理论分析与实验结果进行比较，结果表明，两者符合得较好．
This paper qualitatively and quantitatively analyzes the electrical transport process of GexSi1-x / Si superlattice PIN waveguide detectors, and illustrates the physical meaning of important parameters such as quantum efficiency, photocurrent and frequency response bandwidth. The theoretical analysis and experimental results are compared, the results show that the two are in good agreement.
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